1945年至1952年，属沁源县第三区。
1956年，取消区级建制，分属柏子镇、好村乡。
1958年，属沁县柏子人民公社。
1959年，属沁源县柏子人民公社。
1961年，辖柏子公社。
辖柏子、王庄、畅村、好村、西务、寓仁、杆子坪、下兴居、庄则沟、上兴居、南泉沟、燕家坪12个生产大队。
1962年，增设郡家沟、东柏子、水泉坪3个生产大队。
1979年，增设北沟生产大队，辖16个生产大队。
1984年4月，撤销柏子人民公社，设立柏子镇，改辖16个村民委员会。
2001年3月，将柏子镇、五龙川乡合并为灵空山镇，增设五龙川、第一川、黑峪3个村民委员会。
辖19个村民委员会。
2020年7月16日合并行政村后下辖柏子、上兴居、下兴居、庄则沟、东柏子、西务、杆子坪、水泉坪、北沟、王庄、畅村、好村、寓仁、郡家沟、五龙川、第一川共16个村民委员会。